SF6气体水分含水量是SF6充气柜品质的关键检测技术指标中的一种，其高低可以直接影响到了开关的绝缘水准。

SF6气体中的水分，当其含水量不超过该状况气温下的饱和值时，水分以气体状态普遍存在于SF6气体中，实验表明此刻SF6开关的绝缘性能基础不受影响；若气体水分含水量高于饱和值时，一部分水气会凝聚于开关里面固体绝缘物的表层，从而减少其沿面闪络电压，对开关的灭弧性能指标也是有影响到。因而DL/T596-1996《电力设备预防性实验规程》明文规定，新投入使用和设备大修后SF6开关水分含水量不能高于150ppm，运转中则不能高于300ppm。

对新SF6气体，第一步要检测气体自身水分含水量，不超过标准值（通常水分含水量为15ppm）。

充气柜密封壳体加入适度干燥后的吸附剂，吸附剂关键用于吸附水份以确保密封箱内的水分含水量不至于超过行业标准。密封箱内任何的零配件（包含密封壳体、传动件、触头刀片等）、标件都需要严格要求按各元器件的烘烤气温、烘烤时长做好烘烤，严格执行零配件自身的水分含水量，且确保零配件的封装时长。

充气柜抽真空、打气时，用高纯氮气或六氟化硫气体清理打气通道，调节通道中水分的含水量，确立标准规范的SF6开关柜生产制造加工工艺。

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